Iru mmiri bụ ọnọdụ njikwa gburugburu ebe obibi na-arụ ọrụ nke ụlọ dị ọcha. A na-achịkwa uru ebumnuche nke iru mmiri dị n'ime ụlọ dị ọcha nke semiconductor ka ọ dị na 30 ruo 50%, na-ekwe ka njehie ahụ dị n'ime oke ± 1% dị warara, dị ka mpaghara fotolithographic - ma ọ bụ ọbụna obere na mpaghara nhazi ultraviolet dị anya (DUV). - N'ebe ndị ọzọ, ị nwere ike izuike ruo n'ime ± 5%.
N'ihi na iru mmiri nwere ọtụtụ ihe nwere ike itinye aka n'ịrụ ọrụ ọnụ ụlọ dị ọcha, gụnyere:
● ibu nje bacteria;
● Ụdị nkasi obi nke ndị ọrụ na-enwe na okpomọkụ nke ụlọ;
● Akwụ ụgwọ pụtara;
● metal corrosion;
● Mmiri ikuku condensation;
● mmebi nke lithography;
● Mmụba mmiri.
Nje bacteria na nje ndị ọzọ na-efe efe (ebu, nje, fungi, àjà) nwere ike ịmụba nke ọma na gburugburu ebe obibi nwere iru mmiri karịrị 60%. Ụfọdụ flora nwere ike itolite mgbe iru mmiri dị n'elu karịa 30%. Mgbe iru mmiri dị n'etiti 40% na 60%, enwere ike ibelata mmetụta nke nje bacteria na ọrịa iku ume.
Iru mmiri dị n'etiti 40% ruo 60% bụkwa ebe dị mma nke mmadụ na-enwe ahụ iru ala. Oke iru mmiri nwere ike ime ka ndị mmadụ nwee nkụda mmụọ, ebe iru mmiri dị n'okpuru 30% nwere ike ime ka ndị mmadụ nwee nkụ, nkụja, ahụ erughị ala iku ume na obi erughị ala.
Nnukwu iru mmiri na-ebelata n'ezie nchịkọta nke ụgwọ static n'elu ụlọ dị ọcha - nke a bụ ihe a chọrọ. Iru mmiri dị ala dabara adaba maka mkpokọta ụgwọ yana isi iyi nke mwepu ọkụ eletrik nwere ike imebi. Mgbe iru mmiri dị elu karịa 50%, ụgwọ static na-amalite ịgbasa ngwa ngwa, mana mgbe iru mmiri dị ihe na-erughị 30%, ha nwere ike ịdịgide ruo ogologo oge na mkpuchi mkpuchi ma ọ bụ n'elu ala.
Iru mmiri dị n'etiti 35% na 40% nwere ike ịbụ nkwekọrịta na-eju afọ, na ụlọ semiconductor dị ọcha na-ejikarị njikwa ndị ọzọ na-amachi mkpokọta nke ụgwọ static.
Ọsọ nke ọtụtụ mmeghachi omume kemịkalụ, gụnyere usoro corrosion, ga-abawanye ka iru mmiri na-abawanye. A na-eji opekata mpe otu mmiri kpuchie elu niile nke ikuku gbara gburugburu ụlọ ahụ dị ọcha ngwa ngwa. Mgbe ihe ndị a mejupụtara ihe mkpuchi ọla dị mkpa nke nwere ike iji mmiri mee ihe, iru mmiri dị elu nwere ike ime ka mmeghachi omume ahụ dịkwuo elu. N'ụzọ dị mma, ụfọdụ ọla, dị ka aluminom, nwere ike ịmepụta oxide nchebe na mmiri ma gbochie mmeghachi omume oxidation ọzọ; ma ikpe ọzọ, dị ka ọla kọpa oxide, adịghị echebe ya, ya mere N'ebe dị elu nke iru mmiri, ihe ndị dị n'elu ọla kọpa na-adaba na corrosion.
Tụkwasị na nke ahụ, na gburugburu ebe obibi dị elu nke iru mmiri, photoresist na-agbasawanye ma na-eme ka ọ dịkwuo njọ mgbe okirikiri mmiri gasịrị n'ihi nnabata nke mmiri. Photoresist adhesion nwekwara ike imetụta na-adịghị mma site elu ikwu iru mmiri; iru mmiri dị ala (ihe dịka 30%) na-eme ka adhesion photoresist dị mfe, ọbụlagodi na-enweghị mkpa maka mgbanwe polymeric.
Ịchịkwa iru mmiri dị n'ime ụlọ dị ọcha nke semiconductor abụghị ihe aka ike. Otú ọ dị, ka oge na-agbanwe, ọ kacha mma iji nyochaa ihe kpatara na ntọala nke omume ndị a na-ahụkarị, nke a na-anabatakarị.
Iru mmiri nwere ike ọ gaghị achọpụta nke ọma maka nkasi obi mmadụ anyị, ma ọ na-enwekarị mmetụta dị ukwuu na usoro mmepụta, karịsịa ebe iru mmiri dị elu, na iru mmiri na-abụkarị akara kachasị njọ, nke mere na okpomọkụ na iru mmiri na-achịkwa ụlọ dị ọcha, a na-ahọrọ iru mmiri.
Oge nzipu: Sep-01-2020